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　　本次話題是“陶瓷壓力傳感器”。壓力傳感器技術，比拼的不是多么先進的電路設計，更多的是工藝手段的深究打磨求索。
　 傳感器專家網-楊軍：
　　過去的一周多我們的話題都沒有離開慣性導航，也該換個話題了。
　　聊國內的傳感器市場，繞不開的話題一定是壓力變送器，而作為壓力變送器的核心，即壓力傳感器芯體則是該話題的重中之重，上周有群友提出，希望聊一聊“壓阻式陶瓷壓力傳感器”的話題，那我們今天就這個陶瓷壓力傳感器的話題再展開，希望大家一起來探討陶瓷壓力傳感器的那點事兒，包括國內水平，市場狀況，發展趨勢，該細分產品領域的市場發展機會等等。
　　目前【傳感器智匯圈】社群已經快速成長至近4000人，群里從事壓力傳感器的朋友行家很多，我負責拋磚引玉，歡迎各位發表自己的高見。

　　 傳感器專家網-楊軍：
　　陶瓷壓力傳感器，顧名思義，是利用溫度穩定性和時間穩定性都更好、且能夠抗腐蝕的陶瓷作為材料來制作的壓力傳感器，可以實現更寬的工作溫度范圍（如-40～135℃),同時，保障更好的精度和電氣絕緣性。
　　陶瓷壓力傳感器不用液體（如硅油）介質來傳遞壓力，利用壓力膜片直接感受壓力，沒有密封泄露的問題，厚膜電阻構成的惠斯通電橋印刷在陶瓷膜片的背面，利用陶瓷膜片良好的彈性，壓力直接作用在高純度的陶瓷膜片前表面，產生微形變，印刷在背面的惠斯通電橋壓敏電阻產生壓敏效應，輸出與壓力成正比的線性電壓信號，從而感知壓力變化。
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　　 張***:
　　陶瓷壓力傳感器的敏感元件部分也是陶瓷材料么？還是只是用陶瓷做封裝？
　　 后***面：
　　和擴散硅一樣的道理，單晶硅和陶瓷分別做電路載體，所不同的是材料和工藝不一樣。
　　 傳感器專家網-楊軍：
　　說得對。
　　抓住要點了，壓力傳感器的性能與電路載體的性能密切相關。
　　 張***:
　　學習了，謝謝。
　　 傳感器專家網-楊軍：
　　壓力傳感器技術，并不是多么先進的電路設計的比拼，更多的是工藝手段的深究打磨求索，是工匠精神的更佳體現，包括各種材料性能的深入理解和應用，每一個工藝細節的突破，都可能成就一家偉大的公司。比如，僅僅將陶瓷膜片與襯底粘合的玻璃微熔技術，就成就了TE的前身精量電子這家傳感器公司。
　　 周***定：
　　金屬濺射薄膜壓力傳感器也是原理很簡單，但要做好真不容易！
　　 楊***:
　　擴散硅、單晶硅、陶瓷哪個精度高？
　　 傳感器專家網-楊軍：
　　精度跟載體材料沒有直接關系。
　　 莫***:
　　其實陶瓷壓力傳感器對工藝設備要求挺高的，從高精度厚膜絲印機、激光調阻機國內都沒成熟的。
　　陶瓷壓力傳感器成敗在于工藝細節。
　　 王***c:
　　材料成型也很講究。
　　 莫***:
　　激光調阻設備進口的在200萬左右一臺，絲印機如DEK的也要幾十萬以上。
　　 莫***:
　　而且如果不能實現自動化還會出現不良率不穩的情況。
　　 傳感器專家網-楊軍：
　　陶瓷壓力傳感器具有便于批量化生產的特性，其主要特點是敏感堅固的陶瓷感應膜片、背面印刷的惠斯通電橋壓敏電阻便于進行零點誤差、滿量程誤差等指標參數的激光修正標定，對工藝設備沒有太高要求，抗腐蝕、抗磨損，抗沖擊抗震動，擁有很寬的工作溫度范圍，精度及穩定性能卓越，便于小尺寸封裝。鑒于這些優點和高性價比，許多用戶開始用陶瓷壓力傳感器來替代傳統的擴散硅壓力傳感器。
　　在對高溫、腐蝕、穩定性和可靠性要求較高的工業過程控制，石油化工、液壓閥門、醫療器械、液壓與氣動、傳動控制等眾多領域，陶瓷壓力傳感器有著廣泛的應用發展空間。
　　 O***魏：
　　陶瓷是一種很好的材料，在很多高端器件里邊都有用到。
　　 葉***?。?br /> 　　傳統的擴散硅壓力傳感器，這個是怎樣的？
　　 傳感器專家網-楊軍：
　　擴散規壓力傳感器的基體是單晶硅，采用離子注入的工藝，做成惠斯通電橋硅敏感單元，做成壓力變送器時，被測壓力通過不銹鋼隔離膜作用于敏感元件，其后的信號處理與陶瓷壓力傳感器是類似的。優點是輸出靈敏度高、過載能力較強，缺點是溫度特性較差，性能要求高時需要做溫度補償，而且封裝工藝相對比較復雜。
　　在對高溫、腐蝕、穩定性和可靠性要求較高的工業過程控制，石油化工、液壓閥門、醫療器械、液壓與氣動、傳動控制等眾多領域，陶瓷壓力傳感器有著越來越廣泛的應用發展空間。
　　 o***n:
　　楊總好！請教一下，關于冷媒壓力傳感器，你認為哪一種比較符合這個應用。
　　 傳感器專家網-楊軍：
　　 o***n陶瓷壓力傳感器，本質是惠斯通電橋壓電效應，理論上正壓負壓都可以測量。但是陶瓷壓力傳感器是以陶瓷膜片作為微形變載體，對小量程壓力的測量難度較大，一般多用于100kPa以上的壓力量程，而負壓多數是小量程，所以很少看到用陶瓷壓力傳感器來測負壓的。
　　 小***:
　　問一下專家，陶瓷壓力傳感器的精度是多少，耐溫及壓力沖擊更高多少，我是流量計上用的。
　　 S***葉：
　　比如，安費諾NPC-1210系列，精度±0.5%FSO,工作溫度-40~125℃。
　　 木***:
　　謝謝楊總的知識分享。

　　我是做補充一點：陶瓷壓感目前只能做小量程的壓力傳送，大量程的還做不到。

keyword：陶瓷壓力傳感器

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